Mikrospiegelgerät und dieses verwendender Projektor

Abstract

Mikrospiegelgerät (140) zum Antrieb eines Mikrospiegels (130), wobei das Mikrospiegelgerät (140) aufweist: ein Substrat (100); mehrere auf dem Substrat (100) vorgesehene Elektroden (105); und einen Halterungsrahmen (120), der durch eine vorbestimmte Anzahl an ersten Pfeilern (110) gehaltert wird, und so ausgebildet ist, dass er in Bezug auf mehrere Drehachsen verkippt werden kann, unter Verwendung eines Abschnitts, der durch jeden der ersten Pfeiler gehaltert wird, als Dreh- oder Scharnierpunkt; dadurch gekennzeichnet, dass jede Elektrode (105) aus zwei Teilelektroden besteht, die auf dem gleichen elektrischen Potential liegen.

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      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      DE-10012899-A1October 12, 2000Acer Peripherals IncReflektierende Projektionslinse für einen Projektor mit digitaler Lichtverarbeitung
      DE-19615329-A1April 17, 1997Samsung Electronics Co LtdVerformbare Spiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
      DE-19626097-C1October 30, 1997Siemens Nixdorf Inf SystVerfahren und Anordnung zur Bilddarstellung auf einer Großbildprojektionsfläche mittels eines einen DMD-Chip aufweisenden DMD-Projektors
      DE-19712201-A1October 01, 1998Bodenseewerk GeraetetechMikromechanische Spiegel-Anordnung
      DE-2542233-A1April 01, 1976Eastman Kodak CoVorrichtung zur lageeinstellung eines spiegels
      EP-0949527-A1October 13, 1999Samsung Electronics Co., Ltd.Dispositif à micromiroirs pour un appareil d'affichage d'images
      GB-2289773-ANovember 29, 1995Marconi Gec LtdPiezoelectric scanner
      US-5083857-AJanuary 28, 1992Texas Instruments IncorporatedMulti-level deformable mirror device
      US-5312513-AMay 17, 1994Texas Instruments IncorporatedMethods of forming multiple phase light modulators
      US-5583688-ADecember 10, 1996Texas Instruments IncorporatedMulti-level digital micromirror device
      US-5920417-AJuly 06, 1999Medcam, Inc.Microelectromechanical television scanning device and method for making the same
      US-5920417-C1April 02, 2002Medcam IncMicroelectromechanical television scanning device and method for making the same
      US-6028689-AFebruary 22, 2000The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air ForceMulti-motion micromirror
      US-6185047-B1February 06, 2001Infocus CorporationImage projection system packaged to operate lying flat with a very low profile
      US-6185047-B2December 31, 1969
      WO-0055666-A1September 21, 2000Trustees Of Boston UniversityVery large angle integrated optical scanner made with an array of piezoelectric monomorphs
      WO-02075426-A1September 26, 2002Transparent Networks, Inc.Miroir microelectromecanique et reseau de miroirs microelectromecaniques

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